电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2004年
7期
29-33
,共5页
磨削进给%外环式进给%机械损伤层%加工应力
磨削進給%外環式進給%機械損傷層%加工應力
마삭진급%외배식진급%궤계손상층%가공응력
通过对减薄设备发展过程的研究,提出了一种由外环式磨削进给方式组成的外环式减薄系统.该系统可实现在减薄过程中对芯片磨削与研磨的最佳组合.
通過對減薄設備髮展過程的研究,提齣瞭一種由外環式磨削進給方式組成的外環式減薄繫統.該繫統可實現在減薄過程中對芯片磨削與研磨的最佳組閤.
통과대감박설비발전과정적연구,제출료일충유외배식마삭진급방식조성적외배식감박계통.해계통가실현재감박과정중대심편마삭여연마적최가조합.
