真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
5期
425-428
,共4页
公衍生%王传彬%沈强%张联盟
公衍生%王傳彬%瀋彊%張聯盟
공연생%왕전빈%침강%장련맹
IrO2薄膜%基片温度%微观结构%脉冲激光沉积技术
IrO2薄膜%基片溫度%微觀結構%脈遲激光沉積技術
IrO2박막%기편온도%미관결구%맥충격광침적기술
采用脉冲激光沉积技术,在Si(100)基片上制备了高致密的氧化铱(IrO2)薄膜,研究了不同沉积温度对薄膜结构的影响.利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对制备的IrO2薄膜进行了表征.结果表明:在20Pa氧分压,250℃～500℃范围内,得到的薄膜为多晶的IrO2物相,其晶粒尺寸和粗糙度随着沉积温度的升高而增加;所得到的IrO2薄膜表面粗糙度低,厚度均匀,与基片结合良好.
採用脈遲激光沉積技術,在Si(100)基片上製備瞭高緻密的氧化銥(IrO2)薄膜,研究瞭不同沉積溫度對薄膜結構的影響.利用X射線衍射(XRD)、拉曼光譜、掃描電鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)對製備的IrO2薄膜進行瞭錶徵.結果錶明:在20Pa氧分壓,250℃～500℃範圍內,得到的薄膜為多晶的IrO2物相,其晶粒呎吋和粗糙度隨著沉積溫度的升高而增加;所得到的IrO2薄膜錶麵粗糙度低,厚度均勻,與基片結閤良好.
채용맥충격광침적기술,재Si(100)기편상제비료고치밀적양화의(IrO2)박막,연구료불동침적온도대박막결구적영향.이용X사선연사(XRD)、랍만광보、소묘전경(SEM)화원자력현미경(AFM)대제비적IrO2박막진행료표정.결과표명:재20Pa양분압,250℃～500℃범위내,득도적박막위다정적IrO2물상,기정립척촌화조조도수착침적온도적승고이증가;소득도적IrO2박막표면조조도저,후도균균,여기편결합량호.
