太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2007年
2期
160-164
,共5页
陈金学%席珍强%吴冬冬%杨德仁
陳金學%席珍彊%吳鼕鼕%楊德仁
진금학%석진강%오동동%양덕인
多晶硅%磷吸杂%少子寿命
多晶硅%燐吸雜%少子壽命
다정규%린흡잡%소자수명
用微波光电导衰减仪(μ-PCD)研究了不同温度和时间的恒温和变温磷吸杂处理对铸造多晶硅片电学性能的影响.实验发现:变温吸杂明显优于恒温吸杂,特别是对原生高质量多晶硅;其优化的变温磷吸杂工艺为1000℃/0.5h+700℃/1.5h;而在高温恒温吸杂中,多晶硅少子寿命值反而显著下降.实验现象表明:磷吸杂效果主要是与过渡族金属的溶解、扩散和分凝有关.
用微波光電導衰減儀(μ-PCD)研究瞭不同溫度和時間的恆溫和變溫燐吸雜處理對鑄造多晶硅片電學性能的影響.實驗髮現:變溫吸雜明顯優于恆溫吸雜,特彆是對原生高質量多晶硅;其優化的變溫燐吸雜工藝為1000℃/0.5h+700℃/1.5h;而在高溫恆溫吸雜中,多晶硅少子壽命值反而顯著下降.實驗現象錶明:燐吸雜效果主要是與過渡族金屬的溶解、擴散和分凝有關.
용미파광전도쇠감의(μ-PCD)연구료불동온도화시간적항온화변온린흡잡처리대주조다정규편전학성능적영향.실험발현:변온흡잡명현우우항온흡잡,특별시대원생고질량다정규;기우화적변온린흡잡공예위1000℃/0.5h+700℃/1.5h;이재고온항온흡잡중,다정규소자수명치반이현저하강.실험현상표명:린흡잡효과주요시여과도족금속적용해、확산화분응유관.
