金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2009年
5期
74-77
,共4页
马岩%袁慧珠%鞠仁忠%孙家全
馬巖%袁慧珠%鞠仁忠%孫傢全
마암%원혜주%국인충%손가전
金刚石砂轮刀片%硅片划切%有限元分析%三维建模
金剛石砂輪刀片%硅片劃切%有限元分析%三維建模
금강석사륜도편%규편화절%유한원분석%삼유건모
介绍了硅片加工过程中三种划片方法.对金刚石砂轮刀片进行了力学分析,应用有限元分析软件建立了砂轮刀片回转模型,得到了刀片的应力图.通过仿真得到,砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处.并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型.为进一步基于参数化与智能化的划片机设计打下基础.
介紹瞭硅片加工過程中三種劃片方法.對金剛石砂輪刀片進行瞭力學分析,應用有限元分析軟件建立瞭砂輪刀片迴轉模型,得到瞭刀片的應力圖.通過倣真得到,砂輪刀片切嚮應力總是大于徑嚮應力,切嚮應力的最大值髮生在砂輪刀片孔壁處.併且,應用基于特徵的實體造型繫統Pro/Engineer,建立瞭劃片機劃切過程模擬模型.為進一步基于參數化與智能化的劃片機設計打下基礎.
개소료규편가공과정중삼충화편방법.대금강석사륜도편진행료역학분석,응용유한원분석연건건립료사륜도편회전모형,득도료도편적응력도.통과방진득도,사륜도편절향응력총시대우경향응력,절향응력적최대치발생재사륜도편공벽처.병차,응용기우특정적실체조형계통Pro/Engineer,건립료화편궤화절과정모의모형.위진일보기우삼수화여지능화적화편궤설계타하기출.
