电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
6期
5-6,48
,共3页
陈特超%马度·巴布%李健志%毛朝斌
陳特超%馬度·巴佈%李健誌%毛朝斌
진특초%마도·파포%리건지%모조빈
等离子体%刻蚀%工艺%实验
等離子體%刻蝕%工藝%實驗
등리자체%각식%공예%실험
介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据.利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标.
介紹瞭一種新型等離子體刻蝕機的使用條件,通過對各種參數變化的組閤實驗,得到瞭最佳工藝數據.利用該刻蝕機生產的電池片刻蝕效果好,刻蝕後經檢測,電池片漏電流小,併聯電阻大,提高瞭電池片的綜閤性能指標.
개소료일충신형등리자체각식궤적사용조건,통과대각충삼수변화적조합실험,득도료최가공예수거.이용해각식궤생산적전지편각식효과호,각식후경검측,전지편루전류소,병련전조대,제고료전지편적종합성능지표.
