科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2011年
28期
6832-6835,6841
,共5页
吴鹏飞%张国俊%戴丽萍%钟志亲%王姝娅
吳鵬飛%張國俊%戴麗萍%鐘誌親%王姝婭
오붕비%장국준%대려평%종지친%왕주아
微机电系统(Micro Mechanit Electronic System,MEMS)%折叠弹簧%弹性系数%有限元分析
微機電繫統(Micro Mechanit Electronic System,MEMS)%摺疊彈簧%彈性繫數%有限元分析
미궤전계통(Micro Mechanit Electronic System,MEMS)%절첩탄황%탄성계수%유한원분석
用卡氏第二定律和胡克定律推导出折叠式MEMS弹簧弹性系数的计算公式.ANSYS的仿真结果表明两者的相对误差低于1％.在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数的影响规律.最后对设计的弹簧质量块系统分别进行了模态分析和谐波响应分析.分析结果和理论一致.研究结果为其他结构的MEMS弹簧的分析和设计提供了一定的借鉴.
用卡氏第二定律和鬍剋定律推導齣摺疊式MEMS彈簧彈性繫數的計算公式.ANSYS的倣真結果錶明兩者的相對誤差低于1％.在計算公式和倣真的基礎上,研究瞭各種結構參數對彈性繫數的影響規律.最後對設計的彈簧質量塊繫統分彆進行瞭模態分析和諧波響應分析.分析結果和理論一緻.研究結果為其他結構的MEMS彈簧的分析和設計提供瞭一定的藉鑒.
용잡씨제이정률화호극정률추도출절첩식MEMS탄황탄성계수적계산공식.ANSYS적방진결과표명량자적상대오차저우1％.재계산공식화방진적기출상,연구료각충결구삼수대탄성계수적영향규률.최후대설계적탄황질량괴계통분별진행료모태분석화해파향응분석.분석결과화이론일치.연구결과위기타결구적MEMS탄황적분석화설계제공료일정적차감.
