真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
1期
33-36
,共4页
阴生毅%陈光华%粟亦农%张永清
陰生毅%陳光華%粟亦農%張永清
음생의%진광화%속역농%장영청
电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积%波导%磁场%永磁体%Si:H薄膜
電子迴鏇共振等離子體增彊化學氣相沉積%波導%磁場%永磁體%Si:H薄膜
전자회선공진등리자체증강화학기상침적%파도%자장%영자체%Si:H박막
介绍一台新型的ECR-PECVD装置.这一装置设计和采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场,使整个装置结构明显简化.为提高装置的微波转换效率,通过计算机仿真微波场在等离子体室的分布,选择和采用了一种新型的矩形耦合波导.应用这一装置分解H2稀释的SiH4气体以沉积a-Si:H薄膜,获得了2 nm/s以上的高沉积速率.
介紹一檯新型的ECR-PECVD裝置.這一裝置設計和採用瞭一種由單箇電磁線圈和永磁體單元組閤的新型磁場,使整箇裝置結構明顯簡化.為提高裝置的微波轉換效率,通過計算機倣真微波場在等離子體室的分佈,選擇和採用瞭一種新型的矩形耦閤波導.應用這一裝置分解H2稀釋的SiH4氣體以沉積a-Si:H薄膜,穫得瞭2 nm/s以上的高沉積速率.
개소일태신형적ECR-PECVD장치.저일장치설계화채용료일충유단개전자선권화영자체단원조합적신형자장,사정개장치결구명현간화.위제고장치적미파전환효솔,통과계산궤방진미파장재등리자체실적분포,선택화채용료일충신형적구형우합파도.응용저일장치분해H2희석적SiH4기체이침적a-Si:H박막,획득료2 nm/s이상적고침적속솔.
