CAJ | 학술논문

用射频溅射法制备了FeZrBCu软磁合金薄膜.研究了不同溅射功率对FeZrBCu薄膜软磁特性和巨磁阻抗效应的影响.用电子探针显微镜测量发现,当溅射功率为240W时,薄膜样品中Fe的原子含量为87.32％,Cu的原子含量为2.9％.这种样品的矫顽力最小,为68 A/m,饱和磁化强度约为1.11×105A/m,软磁性能最佳,巨磁阻抗效应最大,溅态膜在13 MHz最大巨磁阻抗比纵向为17％,横向为11％.重点分析了阻抗的电阻、电感分量及横向有效磁导率随频率的变化,得到在低频下主要是磁电感效应,此时磁导率对电感分量的变化起重要作用.
용사빈천사법제비료FeZrBCu연자합금박막.연구료불동천사공솔대FeZrBCu박막연자특성화거자조항효응적영향.용전자탐침현미경측량발현,당천사공솔위240W시,박막양품중Fe적원자함량위87.32％,Cu적원자함량위2.9％.저충양품적교완력최소,위68 A/m,포화자화강도약위1.11×105A/m,연자성능최가,거자조항효응최대,천태막재13 MHz최대거자조항비종향위17％,횡향위11％.중점분석료조항적전조、전감분량급횡향유효자도솔수빈솔적변화,득도재저빈하주요시자전감효응,차시자도솔대전감분량적변화기중요작용.