传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2007年
3期
20-23
,共4页
高翔%徐静%赵本刚%万助军%吴亚明
高翔%徐靜%趙本剛%萬助軍%吳亞明
고상%서정%조본강%만조군%오아명
微电子机械系统%红外探测器%气动%Golay腔
微電子機械繫統%紅外探測器%氣動%Golay腔
미전자궤계계통%홍외탐측기%기동%Golay강
通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器.计算其灵敏度为2700pF/W、噪声等效功率为8.4×10(-8)W/Hz(1/2)和响应时间为0.5ms.利用光学测量变形,可以实现探测器无电化设计,使得测量不受强电磁场和湿度的影响.
通過分析微機械Golay腔型紅外探測器設計中影響性能的關鍵因素:溫緻壓變繫數、紅外吸收層、阻尼譟聲,提齣瞭一種採用硅和玻璃暘極鍵閤技術實現的新型Golay腔型紅外探測器.計算其靈敏度為2700pF/W、譟聲等效功率為8.4×10(-8)W/Hz(1/2)和響應時間為0.5ms.利用光學測量變形,可以實現探測器無電化設計,使得測量不受彊電磁場和濕度的影響.
통과분석미궤계Golay강형홍외탐측기설계중영향성능적관건인소:온치압변계수、홍외흡수층、조니조성,제출료일충채용규화파리양겁건합기술실현적신형Golay강형홍외탐측기.계산기령민도위2700pF/W、조성등효공솔위8.4×10(-8)W/Hz(1/2)화향응시간위0.5ms.이용광학측량변형,가이실현탐측기무전화설계,사득측량불수강전자장화습도적영향.
