垂直腔面发射激光器中选择性氧化工艺稳定性研究
수직강면발사격광기중선택성양화공예은정성연구
Study on Stability of Selective Oxidation in Vertical Cavity Surface Emitting Laser
  • 万方数据
    中国激光 중국격광
    CHINESE JOURNAL OF LASERS
    2007年 8期 1055-1058 ,共4页

    马建立%郝永芹%钟景昌%赵英杰%李海军%乔忠良%冯源

    마건립%학영근%종경창%조영걸%리해군%교충량%풍원

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    选择性氧化工艺已经成为制备高性能垂直腔面发射激光器(VCSEL)的关键技术,氧化后形成的氧化层提供了良好的电限制和折射率导引,但选择性氧化速率是呈线性规律还是抛物线规律仍存在很大的争议.在多种温度条件下,做了环形沟槽和环形分布孔的氧化实验,这是在垂直腔面发射激光器中采用的两种结构.实验结果表明,氧化窗口形状对氧化速率的影响也依赖温度条件,并对这种实验现象给出了定性解释.
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