激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2008年
3期
245-248
,共4页
赵跃智%陈长乐%丁世敬%周思凯
趙躍智%陳長樂%丁世敬%週思凱
조약지%진장악%정세경%주사개
脉冲激光沉积%PbSe薄膜%性能
脈遲激光沉積%PbSe薄膜%性能
맥충격광침적%PbSe박막%성능
通过脉冲激光沉积(PLD)法在Si(111)和SiO2玻璃基片上制备了PbSe薄膜.X射线衍射、X射线能谱、原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪测试结果表明:所有制备的薄膜都为多晶薄膜,发现薄膜生长温度对薄膜衍射峰有一定影响;PLD法制备的薄膜的成分与靶材的基本一致,实现了同组分沉积;所有薄膜表面比较平滑,表面不平整度小于200nm,结构比较致密;PbSe薄膜对红外光具有敏感的响应特性;在波长为5μm处存在有明显的吸收边,此吸收边对应于直接带隙PbSe材料的禁带宽度;对应于波长小于5μm的红外光,PbSe薄膜存在有明显的强吸收.
通過脈遲激光沉積(PLD)法在Si(111)和SiO2玻璃基片上製備瞭PbSe薄膜.X射線衍射、X射線能譜、原子力顯微鏡、傅裏葉變換紅外光譜儀測試結果錶明:所有製備的薄膜都為多晶薄膜,髮現薄膜生長溫度對薄膜衍射峰有一定影響;PLD法製備的薄膜的成分與靶材的基本一緻,實現瞭同組分沉積;所有薄膜錶麵比較平滑,錶麵不平整度小于200nm,結構比較緻密;PbSe薄膜對紅外光具有敏感的響應特性;在波長為5μm處存在有明顯的吸收邊,此吸收邊對應于直接帶隙PbSe材料的禁帶寬度;對應于波長小于5μm的紅外光,PbSe薄膜存在有明顯的彊吸收.
통과맥충격광침적(PLD)법재Si(111)화SiO2파리기편상제비료PbSe박막.X사선연사、X사선능보、원자력현미경、부리협변환홍외광보의측시결과표명:소유제비적박막도위다정박막,발현박막생장온도대박막연사봉유일정영향;PLD법제비적박막적성분여파재적기본일치,실현료동조분침적;소유박막표면비교평활,표면불평정도소우200nm,결구비교치밀;PbSe박막대홍외광구유민감적향응특성;재파장위5μm처존재유명현적흡수변,차흡수변대응우직접대극PbSe재료적금대관도;대응우파장소우5μm적홍외광,PbSe박막존재유명현적강흡수.
