润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2008年
4期
1-3,19
,共4页
周晖%温庆平%郑军%桑瑞鹏%万志华
週暉%溫慶平%鄭軍%桑瑞鵬%萬誌華
주휘%온경평%정군%상서붕%만지화
非平衡磁控溅射%MoS2-Ti复合薄膜%工件台转速%结构和性能
非平衡磁控濺射%MoS2-Ti複閤薄膜%工件檯轉速%結構和性能
비평형자공천사%MoS2-Ti복합박막%공건태전속%결구화성능
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了工件台转速对薄膜的结构和性能的影响.利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评价薄膜的真空摩擦磨损性能.结果表明:提高工件台转速改善了掺杂金属Ti在薄膜中的分布均匀性,起到了细化晶粒尺寸,使薄膜组织结构致密性加强的效果.工件台转速变化不影响薄膜成分,薄膜的晶相从明显的(002)基面优势取向向准晶态转变;薄膜的硬度、与基底间的附着力都随工件台转速的提高而增大;薄膜在真空环境中的减摩作用与工件台转速无关,摩擦因数平均值为0.02,波动范围为0.01～0.04,薄膜耐磨寿命随工件台转速提高而延长.
採用非平衡磁控濺射沉積技術製備MoS2-Ti複閤薄膜,研究瞭工件檯轉速對薄膜的結構和性能的影響.利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相結構,用CSEM薄膜綜閤性能測試儀測試薄膜的硬度和與基底間的附著力,用毬-盤摩抆試驗機和真空環模繫統評價薄膜的真空摩抆磨損性能.結果錶明:提高工件檯轉速改善瞭摻雜金屬Ti在薄膜中的分佈均勻性,起到瞭細化晶粒呎吋,使薄膜組織結構緻密性加彊的效果.工件檯轉速變化不影響薄膜成分,薄膜的晶相從明顯的(002)基麵優勢取嚮嚮準晶態轉變;薄膜的硬度、與基底間的附著力都隨工件檯轉速的提高而增大;薄膜在真空環境中的減摩作用與工件檯轉速無關,摩抆因數平均值為0.02,波動範圍為0.01～0.04,薄膜耐磨壽命隨工件檯轉速提高而延長.
채용비평형자공천사침적기술제비MoS2-Ti복합박막,연구료공건태전속대박막적결구화성능적영향.이용XRF화XRD분석박막적성분화정상결구,용CSEM박막종합성능측시의측시박막적경도화여기저간적부착력,용구-반마찰시험궤화진공배모계통평개박막적진공마찰마손성능.결과표명:제고공건태전속개선료참잡금속Ti재박막중적분포균균성,기도료세화정립척촌,사박막조직결구치밀성가강적효과.공건태전속변화불영향박막성분,박막적정상종명현적(002)기면우세취향향준정태전변;박막적경도、여기저간적부착력도수공건태전속적제고이증대;박막재진공배경중적감마작용여공건태전속무관,마찰인수평균치위0.02,파동범위위0.01～0.04,박막내마수명수공건태전속제고이연장.
