真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
z1期
33-37
,共5页
苟伟%李剑锋%楚信谱%张礼平%李国卿
茍偉%李劍鋒%楚信譜%張禮平%李國卿
구위%리검봉%초신보%장례평%리국경
脉冲放电%等离子体辅助化学气相沉积法%类金刚石碳膜%Raman光谱%表面形貌
脈遲放電%等離子體輔助化學氣相沉積法%類金剛石碳膜%Raman光譜%錶麵形貌
맥충방전%등리자체보조화학기상침적법%류금강석탄막%Raman광보%표면형모
类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注.本文利用脉冲辉光PECVD在不同的脉冲电压下成功地制备了DIE薄膜.采用拉曼光谱仪、原子力显微镜、纳米压痕仪等设备对薄膜的相结构、表面形貌和力学性能进行了综合分析.
類金剛石碳膜以其優異的性能,諸如高電阻率、高硬度、低摩抆繫數、良好的光學特性等顯示齣良好的應用前景,越來越受到人們的關註.本文利用脈遲輝光PECVD在不同的脈遲電壓下成功地製備瞭DIE薄膜.採用拉曼光譜儀、原子力顯微鏡、納米壓痕儀等設備對薄膜的相結構、錶麵形貌和力學性能進行瞭綜閤分析.
류금강석탄막이기우이적성능,제여고전조솔、고경도、저마찰계수、량호적광학특성등현시출량호적응용전경,월래월수도인문적관주.본문이용맥충휘광PECVD재불동적맥충전압하성공지제비료DIE박막.채용랍만광보의、원자력현미경、납미압흔의등설비대박막적상결구、표면형모화역학성능진행료종합분석.
