核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2009年
5期
321-325
,共5页
佟亚军%何晓业%赵屹东%郑雷%肖体乔%王秋平
佟亞軍%何曉業%趙屹東%鄭雷%肖體喬%王鞦平
동아군%하효업%조흘동%정뢰%초체교%왕추평
直线位移%测量和标定%光栅单色器
直線位移%測量和標定%光柵單色器
직선위이%측량화표정%광책단색기
在同步辐射光束线建设中,为达到单色器的光谱分辨率要求,对波长扫描机构的定位精度要求在μm量级.我们建立的由激光干涉仪、自准直仪组成的直线位移测试系统,可以对直线位移机构进行测试并对机构的直线位移编码器进行标定.该系统不但实现了直线位移的精密测量,还能对机构的直线性进行测量.应用该系统测出位移范围为160 mm的直线位移机构的重复精度为1.0×10-3mm,分辨率达75×105mm,对光栅尺的标定精度达到RMS=3.0×10-4mm.
在同步輻射光束線建設中,為達到單色器的光譜分辨率要求,對波長掃描機構的定位精度要求在μm量級.我們建立的由激光榦涉儀、自準直儀組成的直線位移測試繫統,可以對直線位移機構進行測試併對機構的直線位移編碼器進行標定.該繫統不但實現瞭直線位移的精密測量,還能對機構的直線性進行測量.應用該繫統測齣位移範圍為160 mm的直線位移機構的重複精度為1.0×10-3mm,分辨率達75×105mm,對光柵呎的標定精度達到RMS=3.0×10-4mm.
재동보복사광속선건설중,위체도단색기적광보분변솔요구,대파장소묘궤구적정위정도요구재μm량급.아문건립적유격광간섭의、자준직의조성적직선위이측시계통,가이대직선위이궤구진행측시병대궤구적직선위이편마기진행표정.해계통불단실현료직선위이적정밀측량,환능대궤구적직선성진행측량.응용해계통측출위이범위위160 mm적직선위이궤구적중복정도위1.0×10-3mm,분변솔체75×105mm,대광책척적표정정도체도RMS=3.0×10-4mm.
