中国科学技术大学学报
中國科學技術大學學報
중국과학기술대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2009年
4期
365-370
,共6页
刘凯鹏%杨碚芳%严鸿维%傅正平%左健
劉凱鵬%楊碚芳%嚴鴻維%傅正平%左健
류개붕%양배방%엄홍유%부정평%좌건
氧化锌薄膜%超声喷雾热解法%光致发光%银掺杂
氧化鋅薄膜%超聲噴霧熱解法%光緻髮光%銀摻雜
양화자박막%초성분무열해법%광치발광%은참잡
采用超声喷雾热解工艺,在Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜,研究了衬底温度、喷雾速率、银掺杂对ZnO薄膜发光性质的影响.结果表明,选择合适的沉积温度和喷雾速率能制备出具有良好结晶质量、强紫外发射、高紫外/可见发光强度比的ZnO薄膜.未掺杂样品中,在沉积温度为500 ℃、喷雾速率为0 15 mL/min条件制备的ZnO薄膜的近带边紫外发光性能最好,其紫外/可见发光强度比能够达到470.低浓度的银掺杂可以进一步提高ZnO的紫外发光性能,掺杂3%浓度的Ag可以使ZnO的紫外/可见发光强度比达到700.但过高浓度的掺杂反而会降低紫外发光强度.
採用超聲噴霧熱解工藝,在Si(100)襯底上製備瞭ZnO薄膜,研究瞭襯底溫度、噴霧速率、銀摻雜對ZnO薄膜髮光性質的影響.結果錶明,選擇閤適的沉積溫度和噴霧速率能製備齣具有良好結晶質量、彊紫外髮射、高紫外/可見髮光彊度比的ZnO薄膜.未摻雜樣品中,在沉積溫度為500 ℃、噴霧速率為0 15 mL/min條件製備的ZnO薄膜的近帶邊紫外髮光性能最好,其紫外/可見髮光彊度比能夠達到470.低濃度的銀摻雜可以進一步提高ZnO的紫外髮光性能,摻雜3%濃度的Ag可以使ZnO的紫外/可見髮光彊度比達到700.但過高濃度的摻雜反而會降低紫外髮光彊度.
채용초성분무열해공예,재Si(100)츤저상제비료ZnO박막,연구료츤저온도、분무속솔、은참잡대ZnO박막발광성질적영향.결과표명,선택합괄적침적온도화분무속솔능제비출구유량호결정질량、강자외발사、고자외/가견발광강도비적ZnO박막.미참잡양품중,재침적온도위500 ℃、분무속솔위0 15 mL/min조건제비적ZnO박막적근대변자외발광성능최호,기자외/가견발광강도비능구체도470.저농도적은참잡가이진일보제고ZnO적자외발광성능,참잡3%농도적Ag가이사ZnO적자외/가견발광강도비체도700.단과고농도적참잡반이회강저자외발광강도.
