工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2010年
1期
81-84
,共4页
垂直扫描%白光干涉%显微干涉系统%一维位移工作台
垂直掃描%白光榦涉%顯微榦涉繫統%一維位移工作檯
수직소묘%백광간섭%현미간섭계통%일유위이공작태
研究开发了一种新型垂直扫描白光显微干涉测最仪.基于Linnik显微干涉结构,设计了干涉测量仪的显微干涉系统,介绍了干涉系统的工作原理;设计了Z向一维位移工作台,介绍了其结构和驱动原理;分析了测量仪的工作原理,并采用标准样板对测量仪的测量精度进行了验证.
研究開髮瞭一種新型垂直掃描白光顯微榦涉測最儀.基于Linnik顯微榦涉結構,設計瞭榦涉測量儀的顯微榦涉繫統,介紹瞭榦涉繫統的工作原理;設計瞭Z嚮一維位移工作檯,介紹瞭其結構和驅動原理;分析瞭測量儀的工作原理,併採用標準樣闆對測量儀的測量精度進行瞭驗證.
연구개발료일충신형수직소묘백광현미간섭측최의.기우Linnik현미간섭결구,설계료간섭측량의적현미간섭계통,개소료간섭계통적공작원리;설계료Z향일유위이공작태,개소료기결구화구동원리;분석료측량의적공작원리,병채용표준양판대측량의적측량정도진행료험증.
