真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
2期
87-91,104
,共6页
侯亚奇%庄大明%张弓%吴敏生
侯亞奇%莊大明%張弓%吳敏生
후아기%장대명%장궁%오민생
TiO2薄膜%工艺参数%光催光降解%亚甲基蓝
TiO2薄膜%工藝參數%光催光降解%亞甲基藍
TiO2박막%공예삼수%광최광강해%아갑기람
利用中频交流反应磁控溅射方法制备TiO2薄膜光催化剂,研究了溅射工艺参数对薄膜光催化能力的影响.采用动态反应系统,紫外光源为TUV,降解对象为0.02 mmol/L亚甲基蓝溶液.结果发现:Ar/O2混合反应溅射在O2分压大于9%之后亦可制备出光催化能力与纯O2溅射相近的TiO2薄膜.TiO2薄膜厚度是影响其光催化降解能力的最敏感因素,800 nm以下TiO2薄膜降解能力基本与厚度成正比.TiO2薄膜在黑暗环境下长期放置,光催化性能会出现一定下降,但紫外光预照射可以使其有效恢复.
利用中頻交流反應磁控濺射方法製備TiO2薄膜光催化劑,研究瞭濺射工藝參數對薄膜光催化能力的影響.採用動態反應繫統,紫外光源為TUV,降解對象為0.02 mmol/L亞甲基藍溶液.結果髮現:Ar/O2混閤反應濺射在O2分壓大于9%之後亦可製備齣光催化能力與純O2濺射相近的TiO2薄膜.TiO2薄膜厚度是影響其光催化降解能力的最敏感因素,800 nm以下TiO2薄膜降解能力基本與厚度成正比.TiO2薄膜在黑暗環境下長期放置,光催化性能會齣現一定下降,但紫外光預照射可以使其有效恢複.
이용중빈교류반응자공천사방법제비TiO2박막광최화제,연구료천사공예삼수대박막광최화능력적영향.채용동태반응계통,자외광원위TUV,강해대상위0.02 mmol/L아갑기람용액.결과발현:Ar/O2혼합반응천사재O2분압대우9%지후역가제비출광최화능력여순O2천사상근적TiO2박막.TiO2박막후도시영향기광최화강해능력적최민감인소,800 nm이하TiO2박막강해능력기본여후도성정비.TiO2박막재흑암배경하장기방치,광최화성능회출현일정하강,단자외광예조사가이사기유효회복.
