微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2004年
4期
64-68,78
,共6页
林仰魁%钱开友%徐东%蔡炳初
林仰魁%錢開友%徐東%蔡炳初
림앙괴%전개우%서동%채병초
MEMS%传感器%键合技术%真空密封
MEMS%傳感器%鍵閤技術%真空密封
MEMS%전감기%건합기술%진공밀봉
介绍MEMS器件中常用的键合技术和适用于真空密封与器件性能要求的特殊结构设计,以及提高和保持器件高真空环境的方法.合适的真空密封技术不仅能够保证和提高MEMS器件的性能,同时可以简化工艺步骤,降低器件成本.
介紹MEMS器件中常用的鍵閤技術和適用于真空密封與器件性能要求的特殊結構設計,以及提高和保持器件高真空環境的方法.閤適的真空密封技術不僅能夠保證和提高MEMS器件的性能,同時可以簡化工藝步驟,降低器件成本.
개소MEMS기건중상용적건합기술화괄용우진공밀봉여기건성능요구적특수결구설계,이급제고화보지기건고진공배경적방법.합괄적진공밀봉기술불부능구보증화제고MEMS기건적성능,동시가이간화공예보취,강저기건성본.
