计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2005年
7期
4-5
,共2页
光探针%差动像散法%小波包分析%表面形貌测量
光探針%差動像散法%小波包分析%錶麵形貌測量
광탐침%차동상산법%소파포분석%표면형모측량
本文针对机械探针是粗糙度测量仪的不足提出并采用基于差动像散法的光探针技术测量表面粗糙度,采用小波包分析法分离表面粗糙度信号.研究表明该系统不仅测量分辨率高,而且对工件表面无任何划伤,尤其适合对光盘等含有信息的表面及软、脆材料制作的高光洁表面进行形貌测量,对Ra为0.012μm的粗糙度样板进行测量,其测量重复性为2%.
本文針對機械探針是粗糙度測量儀的不足提齣併採用基于差動像散法的光探針技術測量錶麵粗糙度,採用小波包分析法分離錶麵粗糙度信號.研究錶明該繫統不僅測量分辨率高,而且對工件錶麵無任何劃傷,尤其適閤對光盤等含有信息的錶麵及軟、脆材料製作的高光潔錶麵進行形貌測量,對Ra為0.012μm的粗糙度樣闆進行測量,其測量重複性為2%.
본문침대궤계탐침시조조도측량의적불족제출병채용기우차동상산법적광탐침기술측량표면조조도,채용소파포분석법분리표면조조도신호.연구표명해계통불부측량분변솔고,이차대공건표면무임하화상,우기괄합대광반등함유신식적표면급연、취재료제작적고광길표면진행형모측량,대Ra위0.012μm적조조도양판진행측량,기측량중복성위2%.
