现代测量与实验室管理
現代測量與實驗室管理
현대측량여실험실관리
ADVANCED MEASUREMENT & LABORATORY MANAGEMENT
2006年
3期
7-9,18
,共4页
朱小平%杜华%高思田%杨自本
硃小平%杜華%高思田%楊自本
주소평%두화%고사전%양자본
多光束干涉%移相%解包裹%三维形貌
多光束榦涉%移相%解包裹%三維形貌
다광속간섭%이상%해포과%삼유형모
本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌(平面度)测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性.
本文以光榦涉原理為基礎,分析多光束榦涉原理特點及其在平麵形貌(平麵度)測量中應用可能,提齣應用移相方法對被測鍍高反膜錶麵進行調製,得到一繫列被調製的榦涉圖樣,經計算機對榦涉圖樣進行自動採集和圖像解包裹,穫得被測錶麵的三維形貌數據,併通過實際測試驗證瞭該方法的可行性和科學性.
본문이광간섭원리위기출,분석다광속간섭원리특점급기재평면형모(평면도)측량중응용가능,제출응용이상방법대피측도고반막표면진행조제,득도일계렬피조제적간섭도양,경계산궤대간섭도양진행자동채집화도상해포과,획득피측표면적삼유형모수거,병통과실제측시험증료해방법적가행성화과학성.
