航空材料学报
航空材料學報
항공재료학보
JOURNAL OF AERONAUTICAL MATERIALS
2007年
3期
66-68
,共3页
温培刚%颜悦%张官理%望咏林
溫培剛%顏悅%張官理%望詠林
온배강%안열%장관리%망영림
磁控溅射%膜厚均匀性%膜厚测量
磁控濺射%膜厚均勻性%膜厚測量
자공천사%막후균균성%막후측량
薄膜厚度均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标.在自行设计的磁控溅射沉积设备上,对薄膜沉积工艺中靶基间距、溅射功率、工作气压对膜厚均匀性的影响进行了研究,由连续光谱椭圆偏光仪SE800测量薄膜厚度.结果表明:靶基间距较大的情况下,薄膜均匀性明显改善;溅射功率和工作气压对薄膜均匀性也有较大的影响.
薄膜厚度均勻性是衡量薄膜質量和鍍膜裝置性能的一項重要指標.在自行設計的磁控濺射沉積設備上,對薄膜沉積工藝中靶基間距、濺射功率、工作氣壓對膜厚均勻性的影響進行瞭研究,由連續光譜橢圓偏光儀SE800測量薄膜厚度.結果錶明:靶基間距較大的情況下,薄膜均勻性明顯改善;濺射功率和工作氣壓對薄膜均勻性也有較大的影響.
박막후도균균성시형량박막질량화도막장치성능적일항중요지표.재자행설계적자공천사침적설비상,대박막침적공예중파기간거、천사공솔、공작기압대막후균균성적영향진행료연구,유련속광보타원편광의SE800측량박막후도.결과표명:파기간거교대적정황하,박막균균성명현개선;천사공솔화공작기압대박막균균성야유교대적영향.
