河北大学学报（自然科学版）
河北大學學報（自然科學版）
하북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2009年
2期
150-152
,共3页
张丽%于威%许贺菊%张锦川%傅广生
張麗%于威%許賀菊%張錦川%傅廣生
장려%우위%허하국%장금천%부엄생
ZnO薄膜%氮化温度%晶格结构
ZnO薄膜%氮化溫度%晶格結構
ZnO박막%담화온도%정격결구
采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术,在蓝宝石(001)衬底上制备不同氮化温度的ZnO薄膜.结果表明,在200～600 ℃内, 不同的氮化温度对薄膜的表面形貌和晶格结构有显著影响.
採用螺鏇波等離子體輔助射頻磁控濺射技術,在藍寶石(001)襯底上製備不同氮化溫度的ZnO薄膜.結果錶明,在200～600 ℃內, 不同的氮化溫度對薄膜的錶麵形貌和晶格結構有顯著影響.
채용라선파등리자체보조사빈자공천사기술,재람보석(001)츤저상제비불동담화온도적ZnO박막.결과표명,재200～600 ℃내, 불동적담화온도대박막적표면형모화정격결구유현저영향.
