润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2011年
10期
20-24
,共5页
赵文杰%王永欣%曾志翔%乌学东%陈建敏%薛群基
趙文傑%王永訢%曾誌翔%烏學東%陳建敏%薛群基
조문걸%왕영흔%증지상%오학동%진건민%설군기
GLC薄膜%Al掺杂%表面结构%机械性能%摩擦行为
GLC薄膜%Al摻雜%錶麵結構%機械性能%摩抆行為
GLC박막%Al참잡%표면결구%궤계성능%마찰행위
利用磁控溅射技术在硅片表面上制备铝掺杂类石墨(Graphite-like carbon,GLC)薄膜,采用原子力显微镜、场发射扫描电镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪等考察铝掺杂对薄膜表面形貌、结构及其机械性能的影响规律;利用旋转的球一盘微摩擦试验机考察薄膜的摩擦行为.结果表明:铝的引入使GLC薄膜表面更加平整、致密;GLC薄膜的硬度和弹性模量随着掺铝量的增加而增加;低载低速时,薄膜摩擦因数随着铝含量的增加而增加,高载高速时,摩擦因数随铝掺入量的增加明显降低且更稳定.
利用磁控濺射技術在硅片錶麵上製備鋁摻雜類石墨(Graphite-like carbon,GLC)薄膜,採用原子力顯微鏡、場髮射掃描電鏡、X射線光電子能譜儀、納米壓痕儀等攷察鋁摻雜對薄膜錶麵形貌、結構及其機械性能的影響規律;利用鏇轉的毬一盤微摩抆試驗機攷察薄膜的摩抆行為.結果錶明:鋁的引入使GLC薄膜錶麵更加平整、緻密;GLC薄膜的硬度和彈性模量隨著摻鋁量的增加而增加;低載低速時,薄膜摩抆因數隨著鋁含量的增加而增加,高載高速時,摩抆因數隨鋁摻入量的增加明顯降低且更穩定.
이용자공천사기술재규편표면상제비려참잡류석묵(Graphite-like carbon,GLC)박막,채용원자력현미경、장발사소묘전경、X사선광전자능보의、납미압흔의등고찰려참잡대박막표면형모、결구급기궤계성능적영향규률;이용선전적구일반미마찰시험궤고찰박막적마찰행위.결과표명:려적인입사GLC박막표면경가평정、치밀;GLC박막적경도화탄성모량수착참려량적증가이증가;저재저속시,박막마찰인수수착려함량적증가이증가,고재고속시,마찰인수수려참입량적증가명현강저차경은정.
