微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
9期
600-605
,共6页
雷李华%邹子英%李源%王丽华%李东升
雷李華%鄒子英%李源%王麗華%李東升
뢰리화%추자영%리원%왕려화%리동승
纳米量值溯源体系%纳米台阶标准样板%制备工艺%纳米测量装置%量值传递特性
納米量值溯源體繫%納米檯階標準樣闆%製備工藝%納米測量裝置%量值傳遞特性
납미량치소원체계%납미태계표준양판%제비공예%납미측량장치%량치전체특성
介绍了纳米标准样板在纳米量值溯源体系中的重要作用和制备纳米标准样板的基本要求,设计了适用于多用途的标准值为100 nm纳米台阶标准样板的特征结构和制备工艺流程,阐述了纳米测量装置的工作原理以及原子力测头(AFM)、激光聚焦式测头(LFS)、扫描白光干涉测头(SWLIS)的参数指标和适用范围.分别利用纳米测量机(NMM)的多种测头对纳米标准样板进行表征,对SIMT100纳米标准样板A区域开展重复性实验、区域均匀性实验和长时间稳定性实验.结果表明,设计与制备的SIMT100纳米标准样板A区域的高度值具有较好的量值传递特性.台阶标准片的测量重复性、区域均匀性和稳定性的标准偏差均小于1 nm.
介紹瞭納米標準樣闆在納米量值溯源體繫中的重要作用和製備納米標準樣闆的基本要求,設計瞭適用于多用途的標準值為100 nm納米檯階標準樣闆的特徵結構和製備工藝流程,闡述瞭納米測量裝置的工作原理以及原子力測頭(AFM)、激光聚焦式測頭(LFS)、掃描白光榦涉測頭(SWLIS)的參數指標和適用範圍.分彆利用納米測量機(NMM)的多種測頭對納米標準樣闆進行錶徵,對SIMT100納米標準樣闆A區域開展重複性實驗、區域均勻性實驗和長時間穩定性實驗.結果錶明,設計與製備的SIMT100納米標準樣闆A區域的高度值具有較好的量值傳遞特性.檯階標準片的測量重複性、區域均勻性和穩定性的標準偏差均小于1 nm.
개소료납미표준양판재납미량치소원체계중적중요작용화제비납미표준양판적기본요구,설계료괄용우다용도적표준치위100 nm납미태계표준양판적특정결구화제비공예류정,천술료납미측량장치적공작원리이급원자력측두(AFM)、격광취초식측두(LFS)、소묘백광간섭측두(SWLIS)적삼수지표화괄용범위.분별이용납미측량궤(NMM)적다충측두대납미표준양판진행표정,대SIMT100납미표준양판A구역개전중복성실험、구역균균성실험화장시간은정성실험.결과표명,설계여제비적SIMT100납미표준양판A구역적고도치구유교호적량치전체특성.태계표준편적측량중복성、구역균균성화은정성적표준편차균소우1 nm.
