CAJ | 학술논문

万方数据

半导体学报 반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年 3期 547-553 ,共7页

程保罗%李昕欣%王跃林%焦继伟%车录锋%杨恒%戈肖鸿%宋朝晖

정보라%리흔흔%왕약림%초계위%차록봉%양항%과초홍%송조휘

微机电系统%加速度传感器%自检功能%静电驱动%侧壁扩散%绝缘工艺微機電繫統%加速度傳感器%自檢功能%靜電驅動%側壁擴散%絕緣工藝
미궤전계통%가속도전감기%자검공능%정전구동%측벽확산%절연공예

研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器.为实现该加速度传感器,提出了一套新的体硅微机械工艺,使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件.传感器采用在深槽侧壁(悬臂梁弯曲的表面)制作压阻的方法,灵敏度比在硅表面上制作压阻的传统器件高近一倍.传感器利用集成在内的静电驱动器,实现电自检测功能.
연구료일충대유자검공능적재평면내자한제압조식가속도전감기.위실현해가속도전감기,제출료일투신적체규미궤계공예,사용보통규편취대SOI규편래제작기건.전감기채용재심조측벽(현비량만곡적표면)제작압조적방법,령민도비재규표면상제작압조적전통기건고근일배.전감기이용집성재내적정전구동기,실현전자검측공능.