光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2005年
6期
873-876
,共4页
张东平%齐红基%方明%邵建达%范瑞瑛%范正修
張東平%齊紅基%方明%邵建達%範瑞瑛%範正脩
장동평%제홍기%방명%소건체%범서영%범정수
薄膜滤光片%微缺陷%环境稳定性
薄膜濾光片%微缺陷%環境穩定性
박막려광편%미결함%배경은정성
用热蒸发方法沉积了薄膜滤光片.并将样品分别在去离子水中浸泡10天和30天.通过分光光度计、光学暗场显微镜、及扫描电子显微镜等多种测试手段,对诱导透射滤光片在潮湿环境下的稳定性进行了研究.实验发现,在潮湿环境下滤光片产生的膜层分离都是从薄膜中微缺陷点处开始发生和发展的,微缺陷是影响滤光片环境稳定性的重要原因之一,其中杂质和针孔是滤光片中两种最常见的微缺陷.EDS能谱分析进一步表明,薄膜中杂质缺陷成分即为Al2O3膜料本身,所以不能推测,薄膜沉积中的喷溅可能是微缺陷产生的根本原因,抑制喷溅可以有效提高薄膜滤光片的环境稳定性.最后还用扩散理论对微缺陷引起滤光片失效的机理进行了分析.
用熱蒸髮方法沉積瞭薄膜濾光片.併將樣品分彆在去離子水中浸泡10天和30天.通過分光光度計、光學暗場顯微鏡、及掃描電子顯微鏡等多種測試手段,對誘導透射濾光片在潮濕環境下的穩定性進行瞭研究.實驗髮現,在潮濕環境下濾光片產生的膜層分離都是從薄膜中微缺陷點處開始髮生和髮展的,微缺陷是影響濾光片環境穩定性的重要原因之一,其中雜質和針孔是濾光片中兩種最常見的微缺陷.EDS能譜分析進一步錶明,薄膜中雜質缺陷成分即為Al2O3膜料本身,所以不能推測,薄膜沉積中的噴濺可能是微缺陷產生的根本原因,抑製噴濺可以有效提高薄膜濾光片的環境穩定性.最後還用擴散理論對微缺陷引起濾光片失效的機理進行瞭分析.
용열증발방법침적료박막려광편.병장양품분별재거리자수중침포10천화30천.통과분광광도계、광학암장현미경、급소묘전자현미경등다충측시수단,대유도투사려광편재조습배경하적은정성진행료연구.실험발현,재조습배경하려광편산생적막층분리도시종박막중미결함점처개시발생화발전적,미결함시영향려광편배경은정성적중요원인지일,기중잡질화침공시려광편중량충최상견적미결함.EDS능보분석진일보표명,박막중잡질결함성분즉위Al2O3막료본신,소이불능추측,박막침적중적분천가능시미결함산생적근본원인,억제분천가이유효제고박막려광편적배경은정성.최후환용확산이론대미결함인기려광편실효적궤리진행료분석.
