浙江工业大学学报
浙江工業大學學報
절강공업대학학보
Journal of Zhejiang University of Technology
2006年
5期
538-540,545
,共4页
何剑春%王晓东%章旌红%贾立新%王涌
何劍春%王曉東%章旌紅%賈立新%王湧
하검춘%왕효동%장정홍%가립신%왕용
NNCE%光学邻近效应%寄生参数%边界元方法
NNCE%光學鄰近效應%寄生參數%邊界元方法
NNCE%광학린근효응%기생삼수%변계원방법
大规模集成电路(ULSI)的高速发展使光刻中曝光线条的特征尺寸日益接近曝光系统的理论分辨极限,光学邻近效应可导致实际光刻版图的较大畸变.文中基于BEM和神经网络技术,通过定义等效长度概念,建立了一个计算寄生参数的小型专家系统NNCE,以实现对光刻后实际版图的寄生电容参数的有效提取.一些简单环境中的矩形互连实例被用来比较光刻前后寄生参数的变化,数值模拟表明该方法具有良好的精度.
大規模集成電路(ULSI)的高速髮展使光刻中曝光線條的特徵呎吋日益接近曝光繫統的理論分辨極限,光學鄰近效應可導緻實際光刻版圖的較大畸變.文中基于BEM和神經網絡技術,通過定義等效長度概唸,建立瞭一箇計算寄生參數的小型專傢繫統NNCE,以實現對光刻後實際版圖的寄生電容參數的有效提取.一些簡單環境中的矩形互連實例被用來比較光刻前後寄生參數的變化,數值模擬錶明該方法具有良好的精度.
대규모집성전로(ULSI)적고속발전사광각중폭광선조적특정척촌일익접근폭광계통적이론분변겁한,광학린근효응가도치실제광각판도적교대기변.문중기우BEM화신경망락기술,통과정의등효장도개념,건립료일개계산기생삼수적소형전가계통NNCE,이실현대광각후실제판도적기생전용삼수적유효제취.일사간단배경중적구형호련실례피용래비교광각전후기생삼수적변화,수치모의표명해방법구유량호적정도.
