山西冶金
山西冶金
산서야금
SHANXI METALLURGY
2007年
1期
4-7
,共4页
(Ti,Al)N膜%结构%性能
(Ti,Al)N膜%結構%性能
(Ti,Al)N막%결구%성능
综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和(Ti,Al)N膜的结构、硬度、耐磨性、抗高温氧化、结合强度等性能,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向.
綜述瞭Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用機理和(Ti,Al)N膜的結構、硬度、耐磨性、抗高溫氧化、結閤彊度等性能,指齣瞭(Ti,Al)N膜的髮展方嚮.
종술료Al원소재(Ti,Al)N막중적작용궤리화(Ti,Al)N막적결구、경도、내마성、항고온양화、결합강도등성능,지출료(Ti,Al)N막적발전방향.
