功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
6期
876-878
,共3页
刘丽娟%罗以琳%黄锐%林璇英
劉麗娟%囉以琳%黃銳%林璇英
류려연%라이림%황예%림선영
多晶硅薄膜%电导率%低温%晶化率
多晶硅薄膜%電導率%低溫%晶化率
다정규박막%전도솔%저온%정화솔
对用SiCl4/H2为源气体、采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备的多晶硅薄膜进行了低温电学特性的研究.实验结果表明,多晶硅薄膜的暗电导强烈依赖于温度,在300～90K的温度范围内呈现不同的导电特性.对多晶硅薄膜,其导电特性还与晶化率有关,晶化率越大电导率越大.测量数据表明,低晶化率薄膜电输运主要由电子热发射跃过势垒所贡献,但对于高晶化率的薄膜要同时考虑电子隧穿对电导的影响.
對用SiCl4/H2為源氣體、採用等離子體增彊化學氣相沉積(PECVD)技術製備的多晶硅薄膜進行瞭低溫電學特性的研究.實驗結果錶明,多晶硅薄膜的暗電導彊烈依賴于溫度,在300～90K的溫度範圍內呈現不同的導電特性.對多晶硅薄膜,其導電特性還與晶化率有關,晶化率越大電導率越大.測量數據錶明,低晶化率薄膜電輸運主要由電子熱髮射躍過勢壘所貢獻,但對于高晶化率的薄膜要同時攷慮電子隧穿對電導的影響.
대용SiCl4/H2위원기체、채용등리자체증강화학기상침적(PECVD)기술제비적다정규박막진행료저온전학특성적연구.실험결과표명,다정규박막적암전도강렬의뢰우온도,재300～90K적온도범위내정현불동적도전특성.대다정규박막,기도전특성환여정화솔유관,정화솔월대전도솔월대.측량수거표명,저정화솔박막전수운주요유전자열발사약과세루소공헌,단대우고정화솔적박막요동시고필전자수천대전도적영향.
