吉林大学学报(理学版)
吉林大學學報(理學版)
길림대학학보(이학판)
JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
2009年
1期
120-124
,共5页
蒙特卡罗模拟%脉冲激光沉积%失配率
矇特卡囉模擬%脈遲激光沉積%失配率
몽특잡라모의%맥충격광침적%실배솔
采用蒙特卡罗方法计算机模拟脉冲激光沉积ABAC结构薄膜生长.模型采用三重空位扭转,薄膜质量通过3个参数控制,即基片温度、脉冲粒子的剩余能量和单个脉冲覆盖度.结果表明,薄膜质量与3个参数相关,通过分析薄膜的失配率,得到制备高质量薄膜自组织分层生长的最合理参数.
採用矇特卡囉方法計算機模擬脈遲激光沉積ABAC結構薄膜生長.模型採用三重空位扭轉,薄膜質量通過3箇參數控製,即基片溫度、脈遲粒子的剩餘能量和單箇脈遲覆蓋度.結果錶明,薄膜質量與3箇參數相關,通過分析薄膜的失配率,得到製備高質量薄膜自組織分層生長的最閤理參數.
채용몽특잡라방법계산궤모의맥충격광침적ABAC결구박막생장.모형채용삼중공위뉴전,박막질량통과3개삼수공제,즉기편온도、맥충입자적잉여능량화단개맥충복개도.결과표명,박막질량여3개삼수상관,통과분석박막적실배솔,득도제비고질량박막자조직분층생장적최합리삼수.
