制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2011年
7期
83-86
,共4页
XY平台%ZPETC%新型交叉耦合控制器%轮廓误差
XY平檯%ZPETC%新型交扠耦閤控製器%輪廓誤差
XY평태%ZPETC%신형교차우합공제기%륜곽오차
针对直接驱动XY平台高精密轮廓加工中存在的电气——机械延迟、系统参数不确定性及两轴驱动系统参数不匹配以及扰动等因素影响轮廓加工精度的问题,提出了将零相位误差跟踪控制(ZPETC)与新型交叉耦合控制相结合的策略对两轴的运动进行协调控制,实现跟踪误差与轮廓误差同时减小。ZPETC作为前馈跟踪控制器,提高了快速性,克服了伺服滞后,使系统实现准确跟踪,减小了跟踪误差,进而有利于减小轮廓误差;新型交叉耦合控制作用于两轴之间,将轮廓误差作为直接被控量进行实时补偿控制,特别有效地提高了轮廓精度并简化了控制器设计。仿真和实验结果表明所设计控制系统具有较好的跟踪性和鲁棒性,进而大大提高了跟踪精度和轮廓精度。
針對直接驅動XY平檯高精密輪廓加工中存在的電氣——機械延遲、繫統參數不確定性及兩軸驅動繫統參數不匹配以及擾動等因素影響輪廓加工精度的問題,提齣瞭將零相位誤差跟蹤控製(ZPETC)與新型交扠耦閤控製相結閤的策略對兩軸的運動進行協調控製,實現跟蹤誤差與輪廓誤差同時減小。ZPETC作為前饋跟蹤控製器,提高瞭快速性,剋服瞭伺服滯後,使繫統實現準確跟蹤,減小瞭跟蹤誤差,進而有利于減小輪廓誤差;新型交扠耦閤控製作用于兩軸之間,將輪廓誤差作為直接被控量進行實時補償控製,特彆有效地提高瞭輪廓精度併簡化瞭控製器設計。倣真和實驗結果錶明所設計控製繫統具有較好的跟蹤性和魯棒性,進而大大提高瞭跟蹤精度和輪廓精度。
침대직접구동XY평태고정밀륜곽가공중존재적전기——궤계연지、계통삼수불학정성급량축구동계통삼수불필배이급우동등인소영향륜곽가공정도적문제,제출료장령상위오차근종공제(ZPETC)여신형교차우합공제상결합적책략대량축적운동진행협조공제,실현근종오차여륜곽오차동시감소。ZPETC작위전궤근종공제기,제고료쾌속성,극복료사복체후,사계통실현준학근종,감소료근종오차,진이유리우감소륜곽오차;신형교차우합공제작용우량축지간,장륜곽오차작위직접피공량진행실시보상공제,특별유효지제고료륜곽정도병간화료공제기설계。방진화실험결과표명소설계공제계통구유교호적근종성화로봉성,진이대대제고료근종정도화륜곽정도。