机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2011年
17期
164-171
,共8页
刘勇%曾永彬%余宏兵%朱荻
劉勇%曾永彬%餘宏兵%硃荻
류용%증영빈%여굉병%주적
微电极%柱状电极%多阶%电流密度%电极直径
微電極%柱狀電極%多階%電流密度%電極直徑
미전겁%주상전겁%다계%전류밀도%전겁직경
为实现微电极的精确控制加工,对微细电极电化学刻蚀制备技术进行深入研究.针对单阶柱状电极的不足,分析多阶柱状微电极的加工原理及制备流程.针对分阶电极加工中的三种刻蚀状况,分析各段的刻蚀变化率,并由此推导出电极尺寸与形状控制函数.通过试验证实刻蚀过程中电流密度的不变性,讨论不同电流密度对电极直径的影响规律.通过试验归纳,建立加工电压、电流密度、浸入深度三者之间对应的函数关系,验证电极直径随时间呈线性变化的正确性.基于上述两组模型函数,建立多阶柱状微电极的加工控制模型,并对某三阶柱状微电极的形状及尺寸进行加工预测,实际加工结果显示,试验值与理论值具有很好的一致性.在加工控制模型的指导下成功制备出一批精度高的多阶柱状微电极.
為實現微電極的精確控製加工,對微細電極電化學刻蝕製備技術進行深入研究.針對單階柱狀電極的不足,分析多階柱狀微電極的加工原理及製備流程.針對分階電極加工中的三種刻蝕狀況,分析各段的刻蝕變化率,併由此推導齣電極呎吋與形狀控製函數.通過試驗證實刻蝕過程中電流密度的不變性,討論不同電流密度對電極直徑的影響規律.通過試驗歸納,建立加工電壓、電流密度、浸入深度三者之間對應的函數關繫,驗證電極直徑隨時間呈線性變化的正確性.基于上述兩組模型函數,建立多階柱狀微電極的加工控製模型,併對某三階柱狀微電極的形狀及呎吋進行加工預測,實際加工結果顯示,試驗值與理論值具有很好的一緻性.在加工控製模型的指導下成功製備齣一批精度高的多階柱狀微電極.
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