电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2012年
2期
68-71
,共4页
郭茂香%丑修建%穆继亮%郭涛%熊继军
郭茂香%醜脩建%穆繼亮%郭濤%熊繼軍
곽무향%축수건%목계량%곽도%웅계군
微机电系统%超级电容器%综述%微型能量存储%微纳器件
微機電繫統%超級電容器%綜述%微型能量存儲%微納器件
미궤전계통%초급전용기%종술%미형능량존저%미납기건
基于微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术的微型超级电容器是一种以微纳米结构形式实现储能的微型能量存储器件,具有高比容量、高储能密度和高抗过载能力等特点,在MEMS微电源系统、引信系统以及物联网等技术领域具有广泛的应用前景.分析了超级电容器的基本原理和种类,系统综述了MEMS超级电容器的国内外研究现状,重点讨论了基于MEMS加工技术的超级电容器制造方法和优势,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了MEMS超级电容器存在的技术瓶颈问题,并展望了其未来的发展趋势和应用需求.
基于微機電繫統(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技術的微型超級電容器是一種以微納米結構形式實現儲能的微型能量存儲器件,具有高比容量、高儲能密度和高抗過載能力等特點,在MEMS微電源繫統、引信繫統以及物聯網等技術領域具有廣汎的應用前景.分析瞭超級電容器的基本原理和種類,繫統綜述瞭MEMS超級電容器的國內外研究現狀,重點討論瞭基于MEMS加工技術的超級電容器製造方法和優勢,從材料、結構設計、加工工藝方麵分析瞭MEMS超級電容器存在的技術瓶頸問題,併展望瞭其未來的髮展趨勢和應用需求.
기우미궤전계통(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)기술적미형초급전용기시일충이미납미결구형식실현저능적미형능량존저기건,구유고비용량、고저능밀도화고항과재능력등특점,재MEMS미전원계통、인신계통이급물련망등기술영역구유엄범적응용전경.분석료초급전용기적기본원리화충류,계통종술료MEMS초급전용기적국내외연구현상,중점토론료기우MEMS가공기술적초급전용기제조방법화우세,종재료、결구설계、가공공예방면분석료MEMS초급전용기존재적기술병경문제,병전망료기미래적발전추세화응용수구.
