真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
1期
61-65
,共5页
丁宇清%曾飞%谷宇%耿魁伟%潘峰
丁宇清%曾飛%穀宇%耿魁偉%潘峰
정우청%증비%곡우%경괴위%반봉
离子束辅助沉积%非晶%多孔结构%入射角%热稳定性
離子束輔助沉積%非晶%多孔結構%入射角%熱穩定性
리자속보조침적%비정%다공결구%입사각%열은정성
本文研究了离子束辅助沉积(IBAD)Co30Nb70薄膜过程中离子束入射角对薄膜微结构及热稳定性的影响.实验结果表明,在0°到75°范围内改变离子束入射角均可得到Co30Nb70非晶薄膜,但样品微结构出现变化,观察到多孔和沟槽结构.所有样品经300℃退火30 min,入射角为45°制备的样品出现强织构bcc亚稳相,其它入射角沉积的样品均保持非晶相.继续将样品在450℃退火30 min,入射角45°沉积的样品中bcc亚稳相消失,溶人非晶相;15°和75°入射沉积的样品开始晶化.分析认为:离子束入射角变化引起的原子混合效应的改变,以及薄膜中的多孔结构对上述变化有重要影响.
本文研究瞭離子束輔助沉積(IBAD)Co30Nb70薄膜過程中離子束入射角對薄膜微結構及熱穩定性的影響.實驗結果錶明,在0°到75°範圍內改變離子束入射角均可得到Co30Nb70非晶薄膜,但樣品微結構齣現變化,觀察到多孔和溝槽結構.所有樣品經300℃退火30 min,入射角為45°製備的樣品齣現彊織構bcc亞穩相,其它入射角沉積的樣品均保持非晶相.繼續將樣品在450℃退火30 min,入射角45°沉積的樣品中bcc亞穩相消失,溶人非晶相;15°和75°入射沉積的樣品開始晶化.分析認為:離子束入射角變化引起的原子混閤效應的改變,以及薄膜中的多孔結構對上述變化有重要影響.
본문연구료리자속보조침적(IBAD)Co30Nb70박막과정중리자속입사각대박막미결구급열은정성적영향.실험결과표명,재0°도75°범위내개변리자속입사각균가득도Co30Nb70비정박막,단양품미결구출현변화,관찰도다공화구조결구.소유양품경300℃퇴화30 min,입사각위45°제비적양품출현강직구bcc아은상,기타입사각침적적양품균보지비정상.계속장양품재450℃퇴화30 min,입사각45°침적적양품중bcc아은상소실,용인비정상;15°화75°입사침적적양품개시정화.분석인위:리자속입사각변화인기적원자혼합효응적개변,이급박막중적다공결구대상술변화유중요영향.
