传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
6期
2509-2513
,共5页
程东升%袁育杰%孙以材%潘国锋
程東升%袁育傑%孫以材%潘國鋒
정동승%원육걸%손이재%반국봉
ZnO薄膜%高精度A/D转换%无线数据收发%液晶显示
ZnO薄膜%高精度A/D轉換%無線數據收髮%液晶顯示
ZnO박막%고정도A/D전환%무선수거수발%액정현시
研究并设计了一种用于油库安全监测的气体传感器.传感器中气体敏感元件是利用直流磁控溅射法制备的Al掺杂ZnO薄膜.此薄膜对汽油等有机蒸汽有较高的敏感性和较短的响应(恢复)时间.当油气浓度较大时(大于1%),输出信号的变化仍较大.本传感器采用MAX197芯片,可以同时采集多个气敏元件的模拟信号并进行12位高精度A/D转换,利用无线收发模块F05C、J04E进行数据的无线传输.传感器拥有ACM12864液晶显示模块,方便数据显示.
研究併設計瞭一種用于油庫安全鑑測的氣體傳感器.傳感器中氣體敏感元件是利用直流磁控濺射法製備的Al摻雜ZnO薄膜.此薄膜對汽油等有機蒸汽有較高的敏感性和較短的響應(恢複)時間.噹油氣濃度較大時(大于1%),輸齣信號的變化仍較大.本傳感器採用MAX197芯片,可以同時採集多箇氣敏元件的模擬信號併進行12位高精度A/D轉換,利用無線收髮模塊F05C、J04E進行數據的無線傳輸.傳感器擁有ACM12864液晶顯示模塊,方便數據顯示.
연구병설계료일충용우유고안전감측적기체전감기.전감기중기체민감원건시이용직류자공천사법제비적Al참잡ZnO박막.차박막대기유등유궤증기유교고적민감성화교단적향응(회복)시간.당유기농도교대시(대우1%),수출신호적변화잉교대.본전감기채용MAX197심편,가이동시채집다개기민원건적모의신호병진행12위고정도A/D전환,이용무선수발모괴F05C、J04E진행수거적무선전수.전감기옹유ACM12864액정현시모괴,방편수거현시.
