计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2009年
2期
14,16
,共2页
激光光谱%精密检测%厚度%暗波带%测量极限
激光光譜%精密檢測%厚度%暗波帶%測量極限
격광광보%정밀검측%후도%암파대%측량겁한
介绍了利用激光光谱分析法测量介质厚度的一种高精度测量方法,与一般的测厚方法不同,测量越薄的介质.精度越高,并解释了其原理.通过激光垂直照射平板基体上的介质,利用光谱仪分析仪来精确测定相邻带波数差△(1/λ),利用简洁、方便的检测过程和计算,精确地得到介质的厚度.
介紹瞭利用激光光譜分析法測量介質厚度的一種高精度測量方法,與一般的測厚方法不同,測量越薄的介質.精度越高,併解釋瞭其原理.通過激光垂直照射平闆基體上的介質,利用光譜儀分析儀來精確測定相鄰帶波數差△(1/λ),利用簡潔、方便的檢測過程和計算,精確地得到介質的厚度.
개소료이용격광광보분석법측량개질후도적일충고정도측량방법,여일반적측후방법불동,측량월박적개질.정도월고,병해석료기원리.통과격광수직조사평판기체상적개질,이용광보의분석의래정학측정상린대파수차△(1/λ),이용간길、방편적검측과정화계산,정학지득도개질적후도.
