四川大学学报（自然科学版）
四川大學學報（自然科學版）
사천대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2010年
4期
869-876
,共8页
鄢强%童洪辉%宋慧瑾%郑家贵%沈丽如%金凡亚
鄢彊%童洪輝%宋慧瑾%鄭傢貴%瀋麗如%金凡亞
언강%동홍휘%송혜근%정가귀%침려여%금범아
CrNx%涂层%插入层%硬度%结合力
CrNx%塗層%插入層%硬度%結閤力
CrNx%도층%삽입층%경도%결합력
采用直流反应磁控溅射技术,在AISI 304不锈钢基体上镀制了三种具有不同插入层结构的CrNx涂层.用X射线晶体衍射仪(XRD)表征了涂层的晶体结构,用扫描电子显微镜(SEM)观察了涂层的横断面组织形貌,用原子力显微镜(AFM)观察分析了涂层的表面形貌,并用划痕法测试涂层的结合力,纳米硬度计测试涂层硬度.所有涂层都呈B1 NaCl型面心立方结构,具有明显的(200)择优取向.但是,具有不同插入层结构的涂层的晶体衍射峰的位移角度及方向不同.并且在具有Cr/CrNx多层交替结构作为插入层的涂层的晶体结构中出现了Cr的衍射峰.在这种具有不同插入层结构的CrNx涂层中,Cr/CrNx多层交替结构作为插入层的涂层具有最小晶粒尺寸,较高的表面粗糙度,最高的纳米硬度值和较差的膜基结合力;而具有氮含量连续增加梯度结构作为插入层的涂层晶粒尺寸较大,表面粗糙度较低,膜基结合力好,但纳米硬度值较低.
採用直流反應磁控濺射技術,在AISI 304不鏽鋼基體上鍍製瞭三種具有不同插入層結構的CrNx塗層.用X射線晶體衍射儀(XRD)錶徵瞭塗層的晶體結構,用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察瞭塗層的橫斷麵組織形貌,用原子力顯微鏡(AFM)觀察分析瞭塗層的錶麵形貌,併用劃痕法測試塗層的結閤力,納米硬度計測試塗層硬度.所有塗層都呈B1 NaCl型麵心立方結構,具有明顯的(200)擇優取嚮.但是,具有不同插入層結構的塗層的晶體衍射峰的位移角度及方嚮不同.併且在具有Cr/CrNx多層交替結構作為插入層的塗層的晶體結構中齣現瞭Cr的衍射峰.在這種具有不同插入層結構的CrNx塗層中,Cr/CrNx多層交替結構作為插入層的塗層具有最小晶粒呎吋,較高的錶麵粗糙度,最高的納米硬度值和較差的膜基結閤力;而具有氮含量連續增加梯度結構作為插入層的塗層晶粒呎吋較大,錶麵粗糙度較低,膜基結閤力好,但納米硬度值較低.
채용직류반응자공천사기술,재AISI 304불수강기체상도제료삼충구유불동삽입층결구적CrNx도층.용X사선정체연사의(XRD)표정료도층적정체결구,용소묘전자현미경(SEM)관찰료도층적횡단면조직형모,용원자력현미경(AFM)관찰분석료도층적표면형모,병용화흔법측시도층적결합력,납미경도계측시도층경도.소유도층도정B1 NaCl형면심립방결구,구유명현적(200)택우취향.단시,구유불동삽입층결구적도층적정체연사봉적위이각도급방향불동.병차재구유Cr/CrNx다층교체결구작위삽입층적도층적정체결구중출현료Cr적연사봉.재저충구유불동삽입층결구적CrNx도층중,Cr/CrNx다층교체결구작위삽입층적도층구유최소정립척촌,교고적표면조조도,최고적납미경도치화교차적막기결합력;이구유담함량련속증가제도결구작위삽입층적도층정립척촌교대,표면조조도교저,막기결합력호,단납미경도치교저.
