武汉工程大学学报
武漢工程大學學報
무한공정대학학보
JOURNAL OF WUHAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2010年
9期
53-57
,共5页
ECR等离子体%发散场%磁镜场
ECR等離子體%髮散場%磁鏡場
ECR등리자체%발산장%자경장
测量了两种磁场位形中微波ECR等离子体的电子参数,研究了磁场位形对电子参数空间分布的影响,结果表明:发散场中电子温度在轴心和腔体边缘较大,在过渡的中间区域较小,而磁镜场中电子温度随径向半径R的增大单调减小;电子密度在两种磁场位形中随径向和轴向距离的增大均呈单调下降的趋势,磁镜场中的下降幅度大于发散场;在共振面附近,发散场中气压对电子温度的影响比在磁镜场中大,而气压对电子密度的影响在两种磁场位形中基本相似.
測量瞭兩種磁場位形中微波ECR等離子體的電子參數,研究瞭磁場位形對電子參數空間分佈的影響,結果錶明:髮散場中電子溫度在軸心和腔體邊緣較大,在過渡的中間區域較小,而磁鏡場中電子溫度隨徑嚮半徑R的增大單調減小;電子密度在兩種磁場位形中隨徑嚮和軸嚮距離的增大均呈單調下降的趨勢,磁鏡場中的下降幅度大于髮散場;在共振麵附近,髮散場中氣壓對電子溫度的影響比在磁鏡場中大,而氣壓對電子密度的影響在兩種磁場位形中基本相似.
측량료량충자장위형중미파ECR등리자체적전자삼수,연구료자장위형대전자삼수공간분포적영향,결과표명:발산장중전자온도재축심화강체변연교대,재과도적중간구역교소,이자경장중전자온도수경향반경R적증대단조감소;전자밀도재량충자장위형중수경향화축향거리적증대균정단조하강적추세,자경장중적하강폭도대우발산장;재공진면부근,발산장중기압대전자온도적영향비재자경장중대,이기압대전자밀도적영향재량충자장위형중기본상사.
