广西科学院学报
廣西科學院學報
엄서과학원학보
JOURNAL OF GUANGXI ACADEMY OF SCIENCES
2010年
4期
528-531
,共4页
微机电系统%微电子技术%生物芯片%传感器
微機電繫統%微電子技術%生物芯片%傳感器
미궤전계통%미전자기술%생물심편%전감기
介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用,并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望.MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展,建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究.
介紹微機電繫統(MEMS)的技術髮展概況以及MEMS在生物芯片中的應用,併對MEMS在生物芯片中的未來髮展趨勢進行展望.MEMS的髮展極大地推動瞭生物芯片的髮展,建議對MEMS在生物芯片中的應用進行更加繫統深入的研究.
개소미궤전계통(MEMS)적기술발전개황이급MEMS재생물심편중적응용,병대MEMS재생물심편중적미래발전추세진행전망.MEMS적발전겁대지추동료생물심편적발전,건의대MEMS재생물심편중적응용진행경가계통심입적연구.
