郑州大学学报（理学版）
鄭州大學學報（理學版）
정주대학학보（이학판）
JOURNAL OF ZHENGZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
4期
51-55
,共5页
郜小勇%刘绪伟%冯红亮%卢景霄
郜小勇%劉緒偉%馮紅亮%盧景霄
고소용%류서위%풍홍량%로경소
掺磷氢化纳晶硅薄膜%晶格畸变%平均晶粒尺寸%表面增强效应
摻燐氫化納晶硅薄膜%晶格畸變%平均晶粒呎吋%錶麵增彊效應
참린경화납정규박막%정격기변%평균정립척촌%표면증강효응
采用等离子增强化学气相沉积在玻璃衬底上制备了掺磷氢化纳晶硅薄膜,并利用X射线衍射谱(XRD)和拉曼散射谱研究了PH3浓度(GFR=[PH3]/[SiH4])对薄膜平均晶粒尺寸和晶格畸变的影响.结果显示磷弱掺杂有利于晶化,而重掺杂抑制晶化.随着GFR的增大,Si(111)方向上的平均晶粒尺寸呈现出先减小后增大的趋势,而对应的晶格畸变则呈现了相反的变化趋势,小的晶粒尺寸诱导了大的晶格畸变.该结果可归结于与平均晶粒尺寸相关的表面增强效应.在掺磷氢化纳晶硅薄膜的制备过程中,PH3起了关键的有效掺杂作用.
採用等離子增彊化學氣相沉積在玻璃襯底上製備瞭摻燐氫化納晶硅薄膜,併利用X射線衍射譜(XRD)和拉曼散射譜研究瞭PH3濃度(GFR=[PH3]/[SiH4])對薄膜平均晶粒呎吋和晶格畸變的影響.結果顯示燐弱摻雜有利于晶化,而重摻雜抑製晶化.隨著GFR的增大,Si(111)方嚮上的平均晶粒呎吋呈現齣先減小後增大的趨勢,而對應的晶格畸變則呈現瞭相反的變化趨勢,小的晶粒呎吋誘導瞭大的晶格畸變.該結果可歸結于與平均晶粒呎吋相關的錶麵增彊效應.在摻燐氫化納晶硅薄膜的製備過程中,PH3起瞭關鍵的有效摻雜作用.
채용등리자증강화학기상침적재파리츤저상제비료참린경화납정규박막,병이용X사선연사보(XRD)화랍만산사보연구료PH3농도(GFR=[PH3]/[SiH4])대박막평균정립척촌화정격기변적영향.결과현시린약참잡유리우정화,이중참잡억제정화.수착GFR적증대,Si(111)방향상적평균정립척촌정현출선감소후증대적추세,이대응적정격기변칙정현료상반적변화추세,소적정립척촌유도료대적정격기변.해결과가귀결우여평균정립척촌상관적표면증강효응.재참린경화납정규박막적제비과정중,PH3기료관건적유효참잡작용.
