分散类样品的扫描电镜图像缺陷原因及解决方法
분산류양품적소묘전경도상결함원인급해결방법
Reason and solution of imaging defect in SEM for dispersed sample.
  • 万方数据
    分析仪器 분석의기
    ANALYTICAL INSTRUMENTATION
    2012年 3期 62-64 ,共3页

    唐晓山

    당효산

    扫描电子显微镜%荷电效应%边缘效应%电子束损伤 掃描電子顯微鏡%荷電效應%邊緣效應%電子束損傷
    소묘전자현미경%하전효응%변연효응%전자속손상
    在介绍扫描电子显微镜(SEM)的工作原理及特点基础之上,重点阐述了荷电效应、边缘效应、电子束损伤对分散类样品所造成的图像缺陷及相应的解决方法.
    재개소소묘전자현미경(SEM)적공작원리급특점기출지상,중점천술료하전효응、변연효응、전자속손상대분산류양품소조성적도상결함급상응적해결방법.
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