西北师范大学学报（自然科学版）
西北師範大學學報（自然科學版）
서북사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHWEST NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2012年
4期
27-32
,共6页
马书懿%赵强%靳钰珉%马李刚%张小雷%刘静%杨付超%李发明
馬書懿%趙彊%靳鈺珉%馬李剛%張小雷%劉靜%楊付超%李髮明
마서의%조강%근옥민%마리강%장소뢰%류정%양부초%리발명
同质缓冲层%ZnO薄膜%光致发光%辐射跃迁
同質緩遲層%ZnO薄膜%光緻髮光%輻射躍遷
동질완충층%ZnO박막%광치발광%복사약천
采用射频磁控溅射法在300℃真空退火处理过的同质缓冲层上制备了不同退火温度下的ZnO薄膜.使用X射线衍射仪(XRD)和光致发光(PL)等表征技术,研究了ZnO薄膜的微观结构和发光特性.结果表明:在6 min缓冲层上制备的ZnO薄膜有较好的结晶质量,并且在适当的退火温度下薄膜的结晶质量进一步提高.薄膜在可见光范围内的平均透过率均超过90％,光学带隙值随退火温度的增加由3.221 eV减小为3.184 eV.在光致发光谱(PL)中观测到了5个主要的发光峰位,分别是紫外光(384 nm)、紫光(420 nm)、蓝光(455 nm和473 nm)和绿光(530 nm).对发光机制进行详细讨论认为,紫外光是自由激子复合形成的,紫光与晶界缺陷的辐射跃迁有关,蓝光与氧空位和间隙锌缺陷有关,绿光发射主要是电子从氧空位深施主能级向锌空位浅受主能级上的辐射跃迁.退火温度从400℃增加到600℃时,455 nm处的蓝光峰蓝移至447 nm处,发光强度随退火温度增加而增加.继续升高退火温度至700℃,530nm处的绿光峰强度降低,认为和锌空位的减少有关.
採用射頻磁控濺射法在300℃真空退火處理過的同質緩遲層上製備瞭不同退火溫度下的ZnO薄膜.使用X射線衍射儀(XRD)和光緻髮光(PL)等錶徵技術,研究瞭ZnO薄膜的微觀結構和髮光特性.結果錶明:在6 min緩遲層上製備的ZnO薄膜有較好的結晶質量,併且在適噹的退火溫度下薄膜的結晶質量進一步提高.薄膜在可見光範圍內的平均透過率均超過90％,光學帶隙值隨退火溫度的增加由3.221 eV減小為3.184 eV.在光緻髮光譜(PL)中觀測到瞭5箇主要的髮光峰位,分彆是紫外光(384 nm)、紫光(420 nm)、藍光(455 nm和473 nm)和綠光(530 nm).對髮光機製進行詳細討論認為,紫外光是自由激子複閤形成的,紫光與晶界缺陷的輻射躍遷有關,藍光與氧空位和間隙鋅缺陷有關,綠光髮射主要是電子從氧空位深施主能級嚮鋅空位淺受主能級上的輻射躍遷.退火溫度從400℃增加到600℃時,455 nm處的藍光峰藍移至447 nm處,髮光彊度隨退火溫度增加而增加.繼續升高退火溫度至700℃,530nm處的綠光峰彊度降低,認為和鋅空位的減少有關.
채용사빈자공천사법재300℃진공퇴화처리과적동질완충층상제비료불동퇴화온도하적ZnO박막.사용X사선연사의(XRD)화광치발광(PL)등표정기술,연구료ZnO박막적미관결구화발광특성.결과표명:재6 min완충층상제비적ZnO박막유교호적결정질량,병차재괄당적퇴화온도하박막적결정질량진일보제고.박막재가견광범위내적평균투과솔균초과90％,광학대극치수퇴화온도적증가유3.221 eV감소위3.184 eV.재광치발광보(PL)중관측도료5개주요적발광봉위,분별시자외광(384 nm)、자광(420 nm)、람광(455 nm화473 nm)화록광(530 nm).대발광궤제진행상세토론인위,자외광시자유격자복합형성적,자광여정계결함적복사약천유관,람광여양공위화간극자결함유관,록광발사주요시전자종양공위심시주능급향자공위천수주능급상적복사약천.퇴화온도종400℃증가도600℃시,455 nm처적람광봉람이지447 nm처,발광강도수퇴화온도증가이증가.계속승고퇴화온도지700℃,530nm처적록광봉강도강저,인위화자공위적감소유관.
