半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2004年
10期
1335-1337
,共3页
张海英%刘训春%罗明雄%刘洪民%王润梅
張海英%劉訓春%囉明雄%劉洪民%王潤梅
장해영%류훈춘%라명웅%류홍민%왕윤매
GaAs PHEMT%T形栅%激光调制驱动电路
GaAs PHEMT%T形柵%激光調製驅動電路
GaAs PHEMT%T형책%격광조제구동전로
0.2μm T形栅制作技术在100mm GaAs激光驱动电路芯片研制中获得了成功的应用.优化的栅制作工艺保证了形貌良好的栅线条,获得了优良的晶体管直流参数和高频性能.栅工艺重复性好,整片内器件性能均匀一致,确保了电路的成功研制.实际电路测试结果表明,在100mm GaAs片上制备的PHEMT驱动电路的芯片测试合格率达到70%以上,可靠性良好.
0.2μm T形柵製作技術在100mm GaAs激光驅動電路芯片研製中穫得瞭成功的應用.優化的柵製作工藝保證瞭形貌良好的柵線條,穫得瞭優良的晶體管直流參數和高頻性能.柵工藝重複性好,整片內器件性能均勻一緻,確保瞭電路的成功研製.實際電路測試結果錶明,在100mm GaAs片上製備的PHEMT驅動電路的芯片測試閤格率達到70%以上,可靠性良好.
0.2μm T형책제작기술재100mm GaAs격광구동전로심편연제중획득료성공적응용.우화적책제작공예보증료형모량호적책선조,획득료우량적정체관직류삼수화고빈성능.책공예중복성호,정편내기건성능균균일치,학보료전로적성공연제.실제전로측시결과표명,재100mm GaAs편상제비적PHEMT구동전로적심편측시합격솔체도70%이상,가고성량호.
