光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2005年
6期
93-96
,共4页
刘鹏%刘玉玲%贺银波%余飞鸿
劉鵬%劉玉玲%賀銀波%餘飛鴻
류붕%류옥령%하은파%여비홍
薄膜厚度测量%共轭梯度算法%自适应模拟退火算法%无损检测
薄膜厚度測量%共軛梯度算法%自適應模擬退火算法%無損檢測
박막후도측량%공액제도산법%자괄응모의퇴화산법%무손검측
根据薄膜光学计算理论和最优化理论,提出了用自适应模拟退火法结合共轭梯度法确定薄膜厚度的新方法.该方法建立的数学模型先采用自适应模拟退火算法搜索,再采用共轭梯度算法精确查找.它不但减少了无损伤测量方法对初始计算条件的过多依赖,而且在保证精确度的情况下极大地提高了计算速度,同时有很高的适应性.实验中,应用该方法求解了三层膜系的厚度,计算时间为3s,计算误差小于4nm.
根據薄膜光學計算理論和最優化理論,提齣瞭用自適應模擬退火法結閤共軛梯度法確定薄膜厚度的新方法.該方法建立的數學模型先採用自適應模擬退火算法搜索,再採用共軛梯度算法精確查找.它不但減少瞭無損傷測量方法對初始計算條件的過多依賴,而且在保證精確度的情況下極大地提高瞭計算速度,同時有很高的適應性.實驗中,應用該方法求解瞭三層膜繫的厚度,計算時間為3s,計算誤差小于4nm.
근거박막광학계산이론화최우화이론,제출료용자괄응모의퇴화법결합공액제도법학정박막후도적신방법.해방법건립적수학모형선채용자괄응모의퇴화산법수색,재채용공액제도산법정학사조.타불단감소료무손상측량방법대초시계산조건적과다의뢰,이차재보증정학도적정황하겁대지제고료계산속도,동시유흔고적괄응성.실험중,응용해방법구해료삼층막계적후도,계산시간위3s,계산오차소우4nm.
