CAJ | 학술논문

根据JKR接触理论,推导出晶片直接键合时晶片接触表面粗糙度需要满足的条件,其中晶片接触表面粗糙度的描述是基于缝隙长度和缝隙高度的正弦波模型.分析结果表明,晶片直接键合的条件与无量纲参数α有关.以硅片键合为例,根据参数α可以把硅片键合分为三种类型:硅片直接键合(α＞1.065);在外压力作用下键合(0.57＜α＜1.065)和有空洞产生的键合(α＜0.57).实验数据与理论结果吻合得很好.
근거JKR접촉이론,추도출정편직접건합시정편접촉표면조조도수요만족적조건,기중정편접촉표면조조도적묘술시기우봉극장도화봉극고도적정현파모형.분석결과표명,정편직접건합적조건여무량강삼수α유관.이규편건합위례,근거삼수α가이파규편건합분위삼충류형:규편직접건합(α＞1.065);재외압력작용하건합(0.57＜α＜1.065)화유공동산생적건합(α＜0.57).실험수거여이론결과문합득흔호.