光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
4期
636-641
,共6页
王家畴%荣伟彬%李昕欣%孙立宁
王傢疇%榮偉彬%李昕訢%孫立寧
왕가주%영위빈%리흔흔%손립저
体硅工艺%深度反应离子刻蚀%背片技术%面内侧面压阻%纳米级定位平台
體硅工藝%深度反應離子刻蝕%揹片技術%麵內側麵壓阻%納米級定位平檯
체규공예%심도반응리자각식%배편기술%면내측면압조%납미급정위평태
针对纳米定位平台的构型和定位精度问题,采用体硅加工技术成功地研制了一种基于单晶硅并带有位移检测功能的新型二自由度纳米级定位平台.介绍了定位平台的相关制作工艺,并对关键工艺进行了分析,总结了导致器件失效的主要原因,探讨了减少失效的方法.同时,提出了一种可行的面内侧面压阻加工方法.通过对深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺参数的调整,成功地刻蚀出大尺寸、大深宽比的结构释放窗口,释放了最小线宽为2.5 μm,厚度为50μm的梳齿结构.
針對納米定位平檯的構型和定位精度問題,採用體硅加工技術成功地研製瞭一種基于單晶硅併帶有位移檢測功能的新型二自由度納米級定位平檯.介紹瞭定位平檯的相關製作工藝,併對關鍵工藝進行瞭分析,總結瞭導緻器件失效的主要原因,探討瞭減少失效的方法.同時,提齣瞭一種可行的麵內側麵壓阻加工方法.通過對深度反應離子刻蝕(DRIE)工藝參數的調整,成功地刻蝕齣大呎吋、大深寬比的結構釋放窗口,釋放瞭最小線寬為2.5 μm,厚度為50μm的梳齒結構.
침대납미정위평태적구형화정위정도문제,채용체규가공기술성공지연제료일충기우단정규병대유위이검측공능적신형이자유도납미급정위평태.개소료정위평태적상관제작공예,병대관건공예진행료분석,총결료도치기건실효적주요원인,탐토료감소실효적방법.동시,제출료일충가행적면내측면압조가공방법.통과대심도반응리자각식(DRIE)공예삼수적조정,성공지각식출대척촌、대심관비적결구석방창구,석방료최소선관위2.5 μm,후도위50μm적소치결구.
