大学物理
大學物理
대학물리
COLLEGE PHYSICS
2009年
6期
33-35,39
,共4页
张磊%侯想%胥明%夏明荣%马志斌
張磊%侯想%胥明%夏明榮%馬誌斌
장뢰%후상%서명%하명영%마지빈
微波等离子体%金刚石膜沉积%离子体诊断
微波等離子體%金剛石膜沉積%離子體診斷
미파등리자체%금강석막침적%리자체진단
针对目前国内等离子体技术的教学和研究远远落后于工程应用的实际情况,开发了多功能微波等离子体教学研究装置.该装置利用频率2.45 GHz的微波激励稀薄气体放电,形成轴对称的等离子体球,产生的等离子体无内部电极,可避免放电污染.同时通过微波技术、真空技术、冷却技术的集成,使该装置结构紧凑、性能稳定、性价比较高.利用该装置进行了金刚石薄膜沉积与离子体诊断实验,效果良好.
針對目前國內等離子體技術的教學和研究遠遠落後于工程應用的實際情況,開髮瞭多功能微波等離子體教學研究裝置.該裝置利用頻率2.45 GHz的微波激勵稀薄氣體放電,形成軸對稱的等離子體毬,產生的等離子體無內部電極,可避免放電汙染.同時通過微波技術、真空技術、冷卻技術的集成,使該裝置結構緊湊、性能穩定、性價比較高.利用該裝置進行瞭金剛石薄膜沉積與離子體診斷實驗,效果良好.
침대목전국내등리자체기술적교학화연구원원락후우공정응용적실제정황,개발료다공능미파등리자체교학연구장치.해장치이용빈솔2.45 GHz적미파격려희박기체방전,형성축대칭적등리자체구,산생적등리자체무내부전겁,가피면방전오염.동시통과미파기술、진공기술、냉각기술적집성,사해장치결구긴주、성능은정、성개비교고.이용해장치진행료금강석박막침적여리자체진단실험,효과량호.
