分析仪器
分析儀器
분석의기
ANALYTICAL INSTRUMENTATION
2011年
1期
59-64
,共6页
193nm光学薄膜%吸收系数%激光量热计%系统校正
193nm光學薄膜%吸收繫數%激光量熱計%繫統校正
193nm광학박막%흡수계수%격광량열계%계통교정
高精度测量薄膜的吸收系数对于激光光学薄膜研究具有重大意义,而激光量热计是一种可靠灵敏的光学器件吸收测量工具.本文介绍了激光量热计的基本原理与实验装置.考虑到193nm波段的测量应用,讨论了系统的校正操作,包括能量探测器、样品热容、温度漂移、杂散光及热传导校正,以提高测量精度.
高精度測量薄膜的吸收繫數對于激光光學薄膜研究具有重大意義,而激光量熱計是一種可靠靈敏的光學器件吸收測量工具.本文介紹瞭激光量熱計的基本原理與實驗裝置.攷慮到193nm波段的測量應用,討論瞭繫統的校正操作,包括能量探測器、樣品熱容、溫度漂移、雜散光及熱傳導校正,以提高測量精度.
고정도측량박막적흡수계수대우격광광학박막연구구유중대의의,이격광량열계시일충가고령민적광학기건흡수측량공구.본문개소료격광량열계적기본원리여실험장치.고필도193nm파단적측량응용,토론료계통적교정조작,포괄능량탐측기、양품열용、온도표이、잡산광급열전도교정,이제고측량정도.
