半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2012年
5期
399-402
,共4页
铁电材料%介电常数%同轴谐振腔%横向电磁场基波%边界元方法
鐵電材料%介電常數%同軸諧振腔%橫嚮電磁場基波%邊界元方法
철전재료%개전상수%동축해진강%횡향전자장기파%변계원방법
描述了一种基于同轴谐振腔技术测量铁电材料介电常数的原理和方法.将待测样品放置在1/4波长的同轴谐振腔的开路端,通过设计制作尺寸合适的同轴谐振腔以保证在测量频率范围内只存在横向电磁场( TEM)基波,并根据测量的同轴谐振腔TEM基波的谐振频率,计算出相应的样品介电常数以及介电常数随电压的变化.为了精确采样待测样品和同轴谐振腔开路端之间部分所形成的等效电容,分析了电容边缘效应并结合边界元数值算法计算该等效电容.针对主要误差来源(气膜),采用在样品上用导电胶制作电极从而减小气膜对测量的误差影响.实验结果表明这是一种简便而有效的测量铁电材料介电常数的方法.
描述瞭一種基于同軸諧振腔技術測量鐵電材料介電常數的原理和方法.將待測樣品放置在1/4波長的同軸諧振腔的開路耑,通過設計製作呎吋閤適的同軸諧振腔以保證在測量頻率範圍內隻存在橫嚮電磁場( TEM)基波,併根據測量的同軸諧振腔TEM基波的諧振頻率,計算齣相應的樣品介電常數以及介電常數隨電壓的變化.為瞭精確採樣待測樣品和同軸諧振腔開路耑之間部分所形成的等效電容,分析瞭電容邊緣效應併結閤邊界元數值算法計算該等效電容.針對主要誤差來源(氣膜),採用在樣品上用導電膠製作電極從而減小氣膜對測量的誤差影響.實驗結果錶明這是一種簡便而有效的測量鐵電材料介電常數的方法.
묘술료일충기우동축해진강기술측량철전재료개전상수적원리화방법.장대측양품방치재1/4파장적동축해진강적개로단,통과설계제작척촌합괄적동축해진강이보증재측량빈솔범위내지존재횡향전자장( TEM)기파,병근거측량적동축해진강TEM기파적해진빈솔,계산출상응적양품개전상수이급개전상수수전압적변화.위료정학채양대측양품화동축해진강개로단지간부분소형성적등효전용,분석료전용변연효응병결합변계원수치산법계산해등효전용.침대주요오차래원(기막),채용재양품상용도전효제작전겁종이감소기막대측량적오차영향.실험결과표명저시일충간편이유효적측량철전재료개전상수적방법.
