衬底温度对Cu2O薄膜结构和性能的影响
츤저온도대Cu2O박막결구화성능적영향
Effect of Substrate Temperature on the Structure and Properties of Cu2O Thin Films
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2012年 2期 457-460,467 ,共5页

    董国波%张铭%王玫%李英姿%李朝荣%李华%黄安平%严辉

    동국파%장명%왕매%리영자%리조영%리화%황안평%엄휘

    Cu2O薄膜%电导率%光学带隙%衬底温度 Cu2O薄膜%電導率%光學帶隙%襯底溫度
    Cu2O박막%전도솔%광학대극%츤저온도
    采用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了Cu2O薄膜.系统研究了衬底温度对薄膜结构、光学和电学性能的影响.XRD的结果显示,在所有衬底温度条件下均可得到单相的Cu2O结构,而且随着衬底温度由500 K升至800 K,薄膜表现出(111)择优取向的生长特点.电学和光学测试结果表明,室温电导率和光学带隙随着衬底温度的升高而增加,800 K制备的薄膜的带隙值最高约为2.58 eV.
    채용사빈자공천사기술재석영츤저상제비료Cu2O박막.계통연구료츤저온도대박막결구、광학화전학성능적영향.XRD적결과현시,재소유츤저온도조건하균가득도단상적Cu2O결구,이차수착츤저온도유500 K승지800 K,박막표현출(111)택우취향적생장특점.전학화광학측시결과표명,실온전도솔화광학대극수착츤저온도적승고이증가,800 K제비적박막적대극치최고약위2.58 eV.
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